초순수의 수질로는 다음과 같은 정도의 값들이 일반적으로 요구되고 있다.

아래와 같이 수질관리는 비저항, 미립자, 유기물, 미생물의 4항목을 들 수 있다.

최근 미국의 시험연구규격(ASTM)은 반도체 Grade용 초순수의 수질을

아래와 같이 규정하여 제조공정의 개선을 추진 장려하고 있다

* 초순수 요구수질

- 비저항 (MegOhm at 25'C) : 10 ~ 18.3

- 유기물 TOC : 0.1 이상

- 미립자 0.2um 이상 : 10 ~ 50 이하

- 미생물 ea/ml : 0.01 ~ 0.1 이하